国产AV日韩A∨亚洲AV电影,国产色无码精品视频免费,亚洲日韩在线中文字幕综合,中文无码亚洲一区二区蜜桃

技術(shù)文章

TECHNICAL ARTICLES

當(dāng)前位置:首頁(yè)技術(shù)文章MDP少子壽命測(cè)試儀 | 摻雜樣品的光導(dǎo)率測(cè)量

MDP少子壽命測(cè)試儀 | 摻雜樣品的光導(dǎo)率測(cè)量

更新時(shí)間:2023-06-15點(diǎn)擊次數(shù):901

B(硼)和P(磷)的摻雜被用于微電子工業(yè)的許多應(yīng)用,但是到目前為止,還沒(méi)有一種方法可以在不接觸樣品并由于必要的退火步驟而改變其特性的情況下檢查這些摻雜的均勻性。到目前為止的困難是,摻雜區(qū)域通常只有幾微米的深度,而且摻雜的劑量非常低。MDP能夠以高的分辨率來(lái)描述這些摻雜的樣品,并能很好地區(qū)分不同的摻雜劑量。

在這種情況下,光導(dǎo)率或信號(hào)高度是檢測(cè)摻雜物中不均勻性的敏感的參數(shù)。它在很大程度上取決于電阻率和少數(shù)載流子壽命本身。

在MDPmap和MDPingot設(shè)備中,可以集成4個(gè)不同波長(zhǎng)的激光器。此外,還可以用不同的脈沖長(zhǎng)度進(jìn)行測(cè)量,從只有100ns的非常短的脈沖,即沒(méi)有載流子擴(kuò)散發(fā)生,到幾個(gè)ms的脈沖長(zhǎng)度,即載流子擴(kuò)散到樣品的深度。因此,通過(guò)改變激光波長(zhǎng)和脈沖長(zhǎng)度,有可能以不同的滲透深度進(jìn)行測(cè)量。

Use-1.jpg


1:摻雜深度為2微米的P型摻雜劑

Use-2.jpg

圖2:不同P型摻雜濃度下的樣品的光導(dǎo)率測(cè)量

實(shí)驗(yàn)在這種情況下,我們選擇了脈沖長(zhǎng)度為100ns的660nm激光器;因此,實(shí)現(xiàn)了大約4μm的穿透深度。圖1顯示了測(cè)量的Cz-Si樣品中摻雜的P型摻雜劑,圖2顯示了如何通過(guò)光導(dǎo)率測(cè)量來(lái)區(qū)分不同的摻雜濃度。


 Use-3.jpgUse-4.jpg

掃一掃,關(guān)注公眾號(hào)

服務(wù)電話:

021-34685181 上海市松江區(qū)千帆路288弄G60科創(chuàng)云廊3號(hào)樓602室 wei.zhu@shuyunsh.com
Copyright © 2024束蘊(yùn)儀器(上海)有限公司 All Rights Reserved  備案號(hào):滬ICP備17028678號(hào)-2
99国产揄拍国产精品人妻| 11孩岁女精品A片BBB| 久久精品国产亚洲AV香蕉高清| 熟女少妇丰满一区二区| 欧美老人巨大XXXX做受| 女生和男生一起差差30分app| 办公室上面在开会下面在口| 亚洲欧洲精品成人久久曰影片| 无码国产精品一区二区免费16| 边啃奶头边躁狠狠躁AV| 无人在线观看高清完整免费| 亚洲AV日韩AⅤ无码色老头| 日韩精品久久日日躁夜夜躁影视| 日韩欧美亚洲国产精品字幕久久久| 高H粗口调教羞辱SM文女王| 中文字幕无码精品亚洲资源网久久| 欧美一区二区三区放荡人妇| 少妇愉情理伦片丰满丰满午夜| 白洁少妇全文无删减在线阅读| 亚洲精品一区三区三区在线观看| 成熟丰满熟妇高潮XXXXX视频| 最近高清中文在线字幕在线观看| 亚洲中文字幕无码久久2021| 亚洲AV无码专区国产乱码不卡| 久久精品夜色国产亚洲AV| 色情版劳拉的性放荡A片| 人妻三级日本三级日本三级极| 一区二区在线 | 欧洲| 国产亚洲AV综合人人澡精品| 国产特级毛片AAAAAA| 久久久久久久99精品免费观看| 日日摸日日碰人妻无码老牲| 高清视频在线观看| 国产精品久久久久久吹潮| 你是我的女人中文字幕高清| 久久久国产精品免费A片3D| 国产精品V欧美精品V日韩精品| 亚洲色偷偷综合亚洲AV伊人| 性猛交XXXX乱大交派对| 免费理论电线| 你的奶好大让老子摸摸的说说|